Depolarizációs források és hatásuk vékonyrétegek spektroszkópiai ellipszometriai vizsgálatára
A doktori disszertációm témája a spektroszkópiai ellipszometria, ezen belül is a depolarizáló tulajdonságú minták vizsgálata. Az ellipszometriai mérési módszer azon alapul, hogy ha a vizsgálandó mintát ismert polarizációs állapotú fénnyel megvilágítjuk, akkor a mintáról való visszaverődés során a po...
Elmentve itt :
Szerző: | |
---|---|
További közreműködők: | |
Dokumentumtípus: | Disszertáció |
Megjelent: |
2017-11-15
|
Tárgyszavak: | |
doi: | 10.14232/phd.4012 |
mtmt: | 3349337 |
Online Access: | http://doktori.ek.szte.hu/4012 |
LEADER | 02288nta a2200265 i 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | dokt4012 | ||
005 | 20200526112305.0 | ||
008 | 170608s2017 hu om 0|| hun d | ||
024 | 7 | |a 10.14232/phd.4012 |2 doi | |
024 | 7 | |a 3349337 |2 mtmt | |
040 | |a SZTE Doktori Repozitórium |b hun | ||
041 | |a hun | ||
100 | 1 | |a Pápa Zsuzsanna | |
245 | 1 | 0 | |a Depolarizációs források és hatásuk vékonyrétegek spektroszkópiai ellipszometriai vizsgálatára |h [elektronikus dokumentum] / |c Pápa Zsuzsanna |
246 | 1 | 0 | |a Depolarization sources and their effect on spectroscopic ellipsometric investigation of thin layers |h [elektronikus dokumentum] |
260 | |c 2017-11-15 | ||
502 | |a Disszertacio | ||
520 | 3 | |a A doktori disszertációm témája a spektroszkópiai ellipszometria, ezen belül is a depolarizáló tulajdonságú minták vizsgálata. Az ellipszometriai mérési módszer azon alapul, hogy ha a vizsgálandó mintát ismert polarizációs állapotú fénnyel megvilágítjuk, akkor a mintáról való visszaverődés során a polarizációs állapot a mintára jellemző módon fog megváltozni. Ennek detektálásával következtetni tudunk a minta számos tulajdonságára, leggyakrabban a szerkezetre és az optikai jellemzőkre. Ha a minta vagy a mérőeszköz egyes tulajdonságai olyan módon befolyásolják a mérést, hogy a visszaverődő fény nem jellemezhető egy tiszta polarizációs állapottal, akkor depolarizáció megjelenéséről beszélhetünk. A depolarizáció különböző forrásokból eredhet, azonban minden esetben lerontja a mérés pontosságát és körültekintő kiértékelést követel meg a kezelése. Doktori munkám fő feladata a depolarizáció különféle típusainak vizsgálata, illetve az egyes típusok esetén a kiértékelést megkönnyítő eljárások megadása volt. | |
650 | 4 | |a fizikai tudományok | |
650 | 4 | |a Fizikai tudományok | |
700 | 0 | 1 | |a Budai Judit |e ths |
700 | 0 | 1 | |a Tóth Zsolt |e ths |
856 | 4 | 0 | |u https://doktori.bibl.u-szeged.hu/id/eprint/4012/1/PhD_ertekezes_PapaZs.pdf |z Dokumentum-elérés |
856 | 4 | 0 | |u https://doktori.bibl.u-szeged.hu/id/eprint/4012/3/tezisfuzet_magyar_PapaZs.pdf |z Dokumentum-elérés |
856 | 4 | 0 | |u https://doktori.bibl.u-szeged.hu/id/eprint/4012/2/tezisfuzet_angol_PapaZs.pdf |z Dokumentum-elérés |