Depolarizációs források és hatásuk vékonyrétegek spektroszkópiai ellipszometriai vizsgálatára

A doktori disszertációm témája a spektroszkópiai ellipszometria, ezen belül is a depolarizáló tulajdonságú minták vizsgálata. Az ellipszometriai mérési módszer azon alapul, hogy ha a vizsgálandó mintát ismert polarizációs állapotú fénnyel megvilágítjuk, akkor a mintáról való visszaverődés során a po...

Teljes leírás

Elmentve itt :
Bibliográfiai részletek
Szerző: Pápa Zsuzsanna
További közreműködők: Budai Judit (Témavezető)
Tóth Zsolt (Témavezető)
Dokumentumtípus: Disszertáció
Megjelent: 2017-11-15
Tárgyszavak:
doi:10.14232/phd.4012

mtmt:3349337
Online Access:http://doktori.ek.szte.hu/4012
LEADER 02288nta a2200265 i 4500
001 dokt4012
005 20200526112305.0
008 170608s2017 hu om 0|| hun d
024 7 |a 10.14232/phd.4012  |2 doi 
024 7 |a 3349337  |2 mtmt 
040 |a SZTE Doktori Repozitórium  |b hun 
041 |a hun 
100 1 |a Pápa Zsuzsanna 
245 1 0 |a Depolarizációs források és hatásuk vékonyrétegek spektroszkópiai ellipszometriai vizsgálatára  |h [elektronikus dokumentum] /  |c  Pápa Zsuzsanna 
246 1 0 |a Depolarization sources and their effect on spectroscopic ellipsometric investigation of thin layers  |h [elektronikus dokumentum] 
260 |c 2017-11-15 
502 |a Disszertacio 
520 3 |a A doktori disszertációm témája a spektroszkópiai ellipszometria, ezen belül is a depolarizáló tulajdonságú minták vizsgálata. Az ellipszometriai mérési módszer azon alapul, hogy ha a vizsgálandó mintát ismert polarizációs állapotú fénnyel megvilágítjuk, akkor a mintáról való visszaverődés során a polarizációs állapot a mintára jellemző módon fog megváltozni. Ennek detektálásával következtetni tudunk a minta számos tulajdonságára, leggyakrabban a szerkezetre és az optikai jellemzőkre. Ha a minta vagy a mérőeszköz egyes tulajdonságai olyan módon befolyásolják a mérést, hogy a visszaverődő fény nem jellemezhető egy tiszta polarizációs állapottal, akkor depolarizáció megjelenéséről beszélhetünk. A depolarizáció különböző forrásokból eredhet, azonban minden esetben lerontja a mérés pontosságát és körültekintő kiértékelést követel meg a kezelése. Doktori munkám fő feladata a depolarizáció különféle típusainak vizsgálata, illetve az egyes típusok esetén a kiértékelést megkönnyítő eljárások megadása volt. 
650 4 |a fizikai tudományok 
650 4 |a Fizikai tudományok 
700 0 1 |a Budai Judit  |e ths 
700 0 1 |a Tóth Zsolt  |e ths 
856 4 0 |u https://doktori.bibl.u-szeged.hu/id/eprint/4012/1/PhD_ertekezes_PapaZs.pdf  |z Dokumentum-elérés  
856 4 0 |u https://doktori.bibl.u-szeged.hu/id/eprint/4012/3/tezisfuzet_magyar_PapaZs.pdf  |z Dokumentum-elérés  
856 4 0 |u https://doktori.bibl.u-szeged.hu/id/eprint/4012/2/tezisfuzet_angol_PapaZs.pdf  |z Dokumentum-elérés