Defects and amorphization in ion-implanted silicon
Elmentve itt :
| Szerzők: | |
|---|---|
| Dokumentumtípus: | Cikk |
| Megjelent: |
1974
|
| Sorozat: | Acta physica et chemica
20 No. 3 |
| Kulcsszavak: | Természettudomány, Kémia, Fizika |
| Online Access: | http://acta.bibl.u-szeged.hu/23914 |
| Terjedelem/Fizikai jellemzők: | 259-266 |
|---|---|
| ISSN: | 0001-6721 |